日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵一、特性
• 雙繞式渦旋泵,含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
• 可在大氣壓下實現操作運行。
• 可實現高極限真空。
• 低振動低噪音。
• 維護周期可通過計時表控制。
日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵二、應用
• 分析設備
• 氣體回收系統
• 涂料設備
• TMP 前級泵
• 氦滲漏探測器
• 半導體制造工藝
三、規格參數
  | 單位  | 50Hz  | 60Hz  | |
實際抽速  | L/min  | 250  | 300  | |
極限壓力  | Pa  | 1.6  | ||
馬達  | 單相  | 
  | 100/115/200/230V, 400W, 4P, 電容啟動運行  | |
  | 三相  | 
  | 200/208/230/380/400/415/460V, 400W, 4P  | |
滿載電流  | 單相  | A  | 4.8/2.6/2.4  | 4.8/4.3/2.8/2.4  | 
  | 三相  | 
  | 1.6/0.9/0.9/1.0  | 1.9/1.9/1.8/1.0  | 
重量  | 單相  | kg  | 25.0  | |
  | 三相  | 
  | 23.0  | |
進出氣管道直徑  | 
  | 進氣管KF-25 出氣管 KF-16  | ||